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司維
2025-06-15 19:46
半導體設備核心零部件供應商恒運昌擬沖刺科創(chuàng)板IPO。
6月13日上交所公告，深圳市恒運昌真空技術股份有限公司（簡稱“恒運昌”）科創(chuàng)板IPO獲受理，公司擬募資15.5億元。
招股書顯示，恒運昌是國內領先的半導體設備核心零部件供應商，主要從事等離子體射頻電源系統(tǒng)、等離子體激發(fā)裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發(fā)、生產、銷售及技術服務，并引進真空獲得和流體控制等相關的核心零部件，圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。
據了解，等離子體射頻電源系統(tǒng)是半導體設備零部件國產化最難關卡之一，技術壁壘高、研發(fā)投入大、研發(fā)周期長、生產的“精確復制”要求極高，因而國產化率極低。根據弗若斯特沙利文統(tǒng)計，2023年中國大陸半導體領域等離子體射頻電源系統(tǒng)的國產化率不足7%，屬于被“卡脖子”最嚴重的環(huán)節(jié)之一。
恒運昌聚焦于等離子體射頻電源系統(tǒng)的技術攻關，歷經十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代產品系列，成功打破了美系兩大巨頭MKS和AE長達數(shù)十年在國內的壟斷格局。恒運昌自主研發(fā)的第二代產品Bestda系列可支撐28納米制程，第三代產品Aspen系列可支撐14納米先進制程，達到國際先進水平，填補國內空白。與此同時，國內主要晶圓廠被美國商務部列入實體清單后，無法向原海外設備供應商采購備件或申請維修服務，恒運昌為此承接了進口等離子體射頻電源系統(tǒng)的原位替換及維修的業(yè)務。
恒運昌已具備成熟的規(guī)模化量產能力，公司產品已量產交付拓荊科技、中微公司、北方華創(chuàng)、微導納米、盛美上海等國內頭部半導體設備商，并成為薄膜沉積、刻蝕環(huán)節(jié)國內頭部設備商的戰(zhàn)略級供應商。截至2024年末，恒運昌與上述客戶已實現(xiàn)百萬級收入的自研產品共30款，實現(xiàn)千萬級收入的自研產品共19款。
根據弗若斯特沙利文統(tǒng)計，2023年中國大陸半導體行業(yè)等離子體射頻電源系統(tǒng)的市場規(guī)模為58.4億元。中國大陸半導體行業(yè)等離子體射頻電源系統(tǒng)的市場仍呈現(xiàn)海外巨頭MKS和AE高度壟斷的競爭格局。恒運昌半導體級等離子體射頻電源系統(tǒng)于2018年開始研發(fā)、2020年下半年開始批量交付，報告期內已實現(xiàn)大規(guī)模收入，產品性能獲得市場認可。根據弗若斯特沙利文統(tǒng)計，2023年在中國大陸半導體行業(yè)國產等離子體射頻電源系統(tǒng)廠商中，恒運昌的市場份額位列第一，市場地位領先。
業(yè)績方面，2022年至2024年，恒運昌分別實現(xiàn)營收1.58億元、3.25億元和5.41億元，凈利潤分別為2638.97萬元、8053.58萬元和1.43億元。
本次IPO，恒運昌擬募資15.5億元，投入到沈陽半導體射頻電源系統(tǒng)產業(yè)化建設項目、半導體與真空裝備核心零部件智能化生產運營基地項目、研發(fā)與前沿技術創(chuàng)新中心項目、營銷及技術支持中心項目、補充流動資金。恒運昌表示，募投項目的實施有利于公司擴大生產規(guī)模、加強研發(fā)投入、提升客戶支持服務能力和擴充資本實力，進一步鞏固公司在半導體級等離子體射頻電源系統(tǒng)領域的領先地位，并繼續(xù)助力先進制程半導體設備關鍵零部件的國產化進程。
