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A股半導(dǎo)體清洗設(shè)備龍頭盛美上海(688082)日前接受機(jī)構(gòu)調(diào)研。公司高管表示，公司的PECVD、Track及爐管設(shè)備等產(chǎn)品線均在持續(xù)推進(jìn)研發(fā)創(chuàng)新，加強(qiáng)顛覆性技術(shù)創(chuàng)新，目前公司訂單能見度已經(jīng)看到第四季度，并即將排滿，公司也將持續(xù)拓展海外市場(chǎng)。

盛美上海產(chǎn)品覆蓋了前道半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括清洗設(shè)備、半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備、立式爐管系列設(shè)備、涂膠顯影Track設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）設(shè)備、無(wú)應(yīng)力拋光設(shè)備；以及后道先進(jìn)封裝工藝設(shè)備、硅材料襯底制造工藝設(shè)備等。受益于全球半導(dǎo)體行業(yè)復(fù)蘇，盛美上海2024年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入56.18億元，歸母凈利潤(rùn)11.53億元，同比增長(zhǎng)26.65%，但盈利增速有所回落；今年一季度，公司實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)2.46億元，同比增長(zhǎng)約2倍。

本次調(diào)研中，公司高管介紹，公司LPCVD（低壓力化學(xué)氣相沉積）、氧化爐和ALD（原子層沉積）在內(nèi)的爐管系列設(shè)備將在2025年實(shí)現(xiàn)顯著放量；另外，電鍍?cè)O(shè)備增長(zhǎng)速度較快，今年基本維持50%的增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)明年將保持快速增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)。

據(jù)介紹，公司Track設(shè)備采用盛美差異化的平臺(tái)設(shè)計(jì)，可以滿足高產(chǎn)出量、低維護(hù)成本的需求。未來(lái)將持續(xù)通過供應(yīng)鏈渠道優(yōu)化保障零部件供應(yīng)的穩(wěn)定性，不斷深化工藝創(chuàng)新，覆蓋更廣泛的市場(chǎng)需求；同時(shí)不斷推進(jìn)客戶端的產(chǎn)品驗(yàn)證，提升市場(chǎng)認(rèn)可度并進(jìn)一步拓展客戶資源。

在新品研發(fā)方面，公司最新研發(fā)的用于KrF工藝的300 WPH Track beta樣機(jī)預(yù)計(jì)于2025年6月底進(jìn)入客戶端驗(yàn)證；公司自主研發(fā)的超臨界CO?干燥清洗設(shè)備目前已達(dá)到世界領(lǐng)先水平，CO?用量與國(guó)外同行設(shè)備相比預(yù)計(jì)可節(jié)省50%，可大幅降低客戶的消耗品成本。

在ALD設(shè)備方面，公司已經(jīng)積累了一系列自主研發(fā)的具有全球知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)的專利技術(shù)，未來(lái)能夠在ALD設(shè)備均勻性、材質(zhì)等方面持續(xù)作出更多貢獻(xiàn)，以差異化創(chuàng)新工藝持續(xù)滿足客戶多樣化需求。

不過，公司高管表示，當(dāng)前Track設(shè)備目前最大的難點(diǎn)是關(guān)鍵零部件的采購(gòu)，因?yàn)楦髟O(shè)備廠商都有固定的零部件供應(yīng)商，無(wú)法供貨給第二家設(shè)備商。在零部件的國(guó)產(chǎn)化方面，雖然目前不能完全做到100%的國(guó)產(chǎn)化，但是公司相信隨著技術(shù)的不斷迭代及優(yōu)化，未來(lái)將會(huì)實(shí)現(xiàn)零部件國(guó)產(chǎn)化率的持續(xù)提升。

目前盛美上海和控股股東分別在A股、美股兩地上市。對(duì)于未來(lái)發(fā)展聚焦區(qū)域，公司高管表示，公司會(huì)發(fā)揮這一獨(dú)特的雙重資本市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)，持續(xù)推進(jìn)技術(shù)差異化、產(chǎn)品平臺(tái)化、客戶全球化的發(fā)展戰(zhàn)略，持續(xù)提升產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，并在服務(wù)好中國(guó)客戶的同時(shí)，持續(xù)拓展海外市場(chǎng)。目前公司自主研發(fā)的差異化核心設(shè)備已經(jīng)獲得多家國(guó)際客戶的關(guān)注與認(rèn)可。

對(duì)于后續(xù)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域收并購(gòu)計(jì)劃，公司高管指出，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)程中，設(shè)備企業(yè)領(lǐng)域的并購(gòu)整合是行業(yè)演進(jìn)的正?，F(xiàn)象，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)差異化產(chǎn)品的標(biāo)的是公司實(shí)施收并購(gòu)的重要考量標(biāo)準(zhǔn)，后續(xù)若有相關(guān)事項(xiàng)的計(jì)劃或進(jìn)展，公司將按照相關(guān)規(guī)定履行信息披露義務(wù)。

盛美上海6月7日公告顯示，公司2024年度向特定對(duì)象發(fā)行A股股票申請(qǐng)收到上交所審核意見通知，尚需獲得證監(jiān)會(huì)同意注冊(cè)決定后實(shí)施。定增預(yù)案顯示，公司計(jì)劃募資44.82億元（含本數(shù)），投入研發(fā)和工藝測(cè)試平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目、高端半導(dǎo)體設(shè)備迭代研發(fā)項(xiàng)目以及補(bǔ)充流動(dòng)資金。